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GB/T 34177
作者：TECERT 发布于：2017-09-09 09:49:18 检测认证一站式服务 收藏：Ctrl+D
摘要：GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆 联系我们：info@tecert.com 安排测试 / Contact us for testing.
| 国家标准编号 | 国家标准名称 | 实施日期 |
| GB/T 34177-2017 | 光刻用石英玻璃晶圆 | 2018/8/1 |
本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆（以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二极管（LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
