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GB/T 34085
作者：TECERT 发布于：2017-08-20 15:35:40 检测认证一站式服务 收藏：Ctrl+D
摘要：GB/T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷 联系我们：info@tecert.com 安排测试 / Contact us for testing.
| 国家标准编号 | 国家标准名称 | 实施日期 |
| GB/T 34085-2017 | 电子工业用气体 三氟甲烷 | 2017/11/1 |
本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
