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YS/T 26
作者：TECERT 发布于：2017-01-04 15:08:08 检测认证一站式服务 收藏：Ctrl+D
摘要：YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法 联系我们：info@tecert.com 安排测试 / Contact us for testing.
| 行业标准编号 | 行业标准名称 | 代替标准号 | 实施日期 | 标准主管部门 |
| YS/T 26-2016 | 硅片边缘轮廓检验方法 | YS/T 26-1992 | 2017/1/1 | 工业和信息化部 |
| 标准编号 | 标准名称 | 实施日期 | 状态 |
| YS/T 26-1992 | 硅片边缘轮郭检验方法 | 1993/1/01 | 作废 |
本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口），砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。
