服务搜索 SEARCH
GB/T 33236
作者:TECERT 发布于:2016-12-27 07:58:03 检测认证一站式服务 收藏:Ctrl+D
摘要:GB/T 33236-2016 多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法 联系我们:info@tecert.com 安排测试 / Contact us for testing.
国家标准编号 | 国家标准名称 | 实施日期 |
GB/T 33236-2016 | 多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法 | 2017/11/01 |
本标准规定了采用辉光放电质谱(GD-MS)法测量多晶硅中杂质元素的测试方法。本标准适用于多晶硅材料中除氢和惰性气体元素以外的其他杂质元素含量的测定,测量范围是本方法的检出限至0.1%(质量分数),检出限根据所用仪器及测量条件确定。通过合适的标准样品校正,也可以测量质量分数大于0.1%的杂质元素含量。单晶硅材料中痕量杂质元素也可参照本标准测量。