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GB/T 1555
作者：TECERT 发布于：2016-02-15 05:28:54 检测认证一站式服务 收藏：Ctrl+D
摘要：GB/T 1555-2023 半导体单晶晶向测定方法 联系我们：info@tecert.com 安排测试 / Contact us for testing.
| 标准编号 | 标准名称 | 代替标准号 | 实施日期 |
| GB/T 1555-2023 | 半导体单晶晶向测定方法 | GB/T 1555-2009 | 2024/3/1 |
| 标准号 Standard No. | 中文标准名称 Standard Title in Chinese | 英文标准名称 Standard Title in English | 状态 State | 备注 Remark |
| GB/T 1555-1997 | 半导体单晶晶向测定方法 | Test methods for determining the orientation ofa semiconductor single crystal | 废止 | 1998-08-01实施,代替GB 1555-1979,GB 1556-1979,GB 5254-1985,GB 5255-1985,GB 8759-1988,2010-06-01废止,被GB/T 1555-2009代替 |
| GB/T 1555-2009 | 半导体单晶晶向测定方法 | Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal | 废止 | 2010-06-01实施,代替GB/T 1555-1997 |
本文件描述了X射线衍射定向和光图定向测定半导体单晶晶向的方法。本文件适用于半导体单晶晶向的测定。X射线衍射定向法适用于测定硅、锗、砷化镓、碳化硅、氧化镓、氮化镓、锑化铟和磷化铟等大致平行于低指数原子面的半导体单晶材料的表面取向；光图定向法适用于测定硅、锗等大致平行于低指数原子面的半导体单晶材料的表面取向。
