本文件规定了氧化铟锌靶材的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于以氧化铟粉末、氧化锌粉末为原料，以常压烧结工艺生产的氧化铟锌靶材。