GB/T 33523的本部分规定了用于测量仪器软件校验的S1型和S2型软件测量标准（标准具）的术语定义。本部分还规定了S1型软件测量标准的文件格式。本部分适用于基于区域法表面结构标准链，链环G定义的轮廓表面结构和区域表面结构测量仪器的计量特性校准的测量标准。